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    激光干涉儀

    技術參數:
    系統精度:±0.5ppm(0~40 ℃整個工作環境范圍)
    激光穩頻精度:±0.05ppm
    分辨率:0.001um
    測量速度:4.0m/sec
    采樣頻率:50KHz
    測量范圍:0-80metres
    預熱時間:~6分鐘

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